日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐簡介：
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點
1.最高工作溫度360℃和500℃。
2.采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
3.高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時間短，N2 消耗量極低。
4.磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
5.可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
6.標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。
安全性
1.門檢測開關(guān)
2.溫度過升防止器
3.氧濃度異常安全裝置
4.氮?dú)鈮毫z測
5.氮?dú)饬髁繖z測
6.冷卻水流量檢測
7.漏水傳感器
8.過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)
日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù)：
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型號
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DTN430C
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DTN630C
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DTN450C
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DTN650C
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方式
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氮?dú)庵脫Q +強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)
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性能
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使用溫度范圍
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室溫+50～360℃
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室溫+50～500℃
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溫度調(diào)節(jié)精度
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±0.5℃（at360℃）
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±1.0℃（at500℃）
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溫度分布精度
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±5.0℃（at360℃）
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±8.0℃（at500℃）
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最高溫度到達(dá)時間
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約80分
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約 110分
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氧濃度
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20ppm以下
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氧濃度到達(dá)時間
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≤20分（250L/min氮?dú)猓?/span>
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≤25分（250L/min氮?dú)?/span>
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）≤ 20 分（250L/min氮?dú)猓?/span>
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≤25分（250L/min氮?dú)猓?/span>
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潔凈度
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溫度恒定時 100級
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構(gòu)成
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內(nèi)裝
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不銹鋼板
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外裝
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冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
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斷熱材
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硅酸鋁棉
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加熱方式
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不銹鋼加熱管
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合金加熱絲
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加熱功率
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主加熱器
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6.75KW
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9KW
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9.5KW
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14.2KW
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N2預(yù)熱
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1KW
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冷卻機(jī)構(gòu)
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不銹鋼冷卻水換熱器
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HEPA過濾器
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集塵效率：0.3um 粒子 99.97%以上
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控制器
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溫度控制方式
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PID控制
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溫度控制器
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液晶觸摸屏+PLC
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運(yùn)行功能
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手動定值運(yùn)行、自動程序運(yùn)行
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程序模式
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程序運(yùn)行 9 個，每個程序可設(shè)置 9步（可擴(kuò)展）
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附加功能
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操作員等級認(rèn)證
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加熱器回路控制
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SSR驅(qū)動
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傳感器
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K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）
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安全裝置
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門檢測開關(guān)、過升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2流量檢測、
風(fēng)機(jī)過載檢測、過電流漏電保護(hù)開關(guān)等
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規(guī)格
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內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）
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450×450×450
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660×500×660
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450×450×450
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660×500×660
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外形尺寸（寬×深×高mm）
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1090×950×1540
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1300×1000×1750
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1240×1010×1750
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1450×1060×1960
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內(nèi)容積
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91L
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216L
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91L
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216L
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棚板層數(shù) /層間距
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12 層/30mm
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19 層/30mm
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12 層/30mm
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19 層/30mm
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排氣口
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40KF法蘭
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氮?dú)馊肟?/span>
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Rc1/2
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冷卻水入口
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Rc3/4
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熱水出口
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Rc3/4，2個
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電源（50/60Hz）額定電流
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3相AC380V 16A
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3相AC380V 19A
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3相AC380V 20A
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3相AC380V 27A
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重量
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約900kg
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約1100kg
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約900kg
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約1100kg
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選購品
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棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī) / 運(yùn)行 /故障）、以太網(wǎng)通信功能
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