反映誤差大小的程度成為精度。精度高的誤差小，精度低的誤差大。精度有分為精密度、正確度、準確度。

  精密度表示測量結(jié)果中隨機誤差大小的程度，它反映了在一定條件下，進行多次測量時所得測量結(jié)果之間的分散程度。

  正確度表示測量結(jié)果中系統(tǒng)誤差大小的程度，它反映了測量結(jié)果的正確程度。

  準確度又稱為精確度是反映系統(tǒng)誤差和隨機誤差兩者大小的程度，它表示測量結(jié)果和真值之間的一定程度，它綜合地反映測量結(jié)果的正確程度和精密程度。

  比如涂層測厚儀里一般提到的精度更多時候指的是準確度的含義。